SEMI F47-0706 Standard
For: Semiconductor Tools,Subsystems, & Components，
用于半导体工艺设备、子系统、元器件
表：电压暂降免疫能力 Voltage Sag Immunity
IEC 61000-4-11 (电流<16A) & IEC 61000-4-34 (电流>16A) Class 3
